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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆研发线整套搭配的超超纯水软件系统,每晚存在含硅污水150吨。污一般的水都虽无巨资属,但硅纯度高易积垢,且电阻值率需达到18MΩ·cm才可造纸废水整理。原始整理工学院艺始终无法 满足了新实施的《电子元器件工業水被废气物废气标淮》(GB39731-2020)尤其废气允许值。 电镀废水有效成分特色 最主要造成的排放物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、粉末硅(粒级0.1-1μm) 层次性需要 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 饮用水质性能指标 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物行态比较复杂 整理工艺方法方法 什么是创新分为"梯级膜脱离+电去阳离子"组成加工制作工艺 : 微滤预解决 :1μm卫浴陶瓷膜截拦大粒状硅,通量形成80LMH 铝离子互相交换树脂胶 :D201大孔树酯的选择树脂吸附硅酸分子结构 五级RO装置 :一段回笼率60%,2、段利用高脱硼膜构件 EDI电去阳离子 :电压比热容2A/m²,长期删去残余物亚铁离子 太阳光的紫外线消毒 :254nm分光光度计线用量40mJ/cm² 科技突出 的开发专业化阻硅剂(巧妙胺类组合物),廷迟膜弄脏的周期3倍 EDI控制器革新流道设计制作,硅取除率提拔至99.8% 手机在线硅数据测试仪(精确测量区域0.1-500μg/L)实行精准性的管控 电脑运行取得的成绩 经3、方检查: 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼占比从8μg/L降下来0.3μg/L 程序回收并率从原40%优化至68% 膜拆换周期性变长至5年,年运动价格有效降低35%

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