某半导体器件营造单位因晶圆难以清理工艺技术生成含氨废水工作,储水量200吨/天。废水工作中除氧化还原电位外还具有氟化物和氢化物发生器天价属,工作难易大。本地排卸准则规范氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生产废水含量及收入
晶圆清洁污水(主要的从何而来):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀流程焦化废水:含进样器铜、镍等天价属,pH值价格波动大
CMP研磨抛光污水:含硅顆粒及化学需氧量
鑫霖环保技术标准流程
分为"物理化学沉淀出的+膜脱离+折点氯化"组装艺:
预加工处理
:加药CaCl2除氟,保持pH在7.5-8.
反渗透膜设计
:除掉0.01μm这颗粒状物
反覆盖浓缩造成
:将氧化还原电位果汁至1000mg/L之上
折点氯化
:精确度掌握氯加药量,将氟化物转变成为氦气
阳离子交易
:保障措施天价属考核标准
决定目的
挥发酚可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属硫含量压低检查限
水使用率达75%
污水呈现量少40%