重庆某半导体技术除理芯片创造厂,晶圆加工厂的过程中生产含硅、氟的特殊性电镀工业废水,构思除理企业规模1200吨/日。电镀工业废水含量繁杂,含有納米级硅粒子及盐酸,传统艺术除理的办法很难不合格。
污废水 因素及从何而来
通常污染破坏物
:电解质溶液硅(100-500nm粒级)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
从何而来工艺流程
:晶圆刻蚀电镀焦化废水(45%)、CMP物理化学机械性拋光电镀焦化废水(40%)、机械洗水(15%)
操作技术程序
多元化适用"物理沉积+特总膜破乳"科技交通路线:
钙盐沉垫
:加药氯化钙清理氟阴离子(添加CaF2乳浊液)
斜板沉淀池反馈
:分手后复合斜板沉淀池剂体现溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm粒径膜虚报冒领微细颗料
反渗透膜性和系统化
:脱盐率>98%,出售率75%
蒸发掉析出
:浓水段推动氟化物零废气
最中效果好
氟化物有机废气浓度:<8mg/L(远低于欧洲国家1级标准10mg/L)
硅水分含量:<5mg/L
水市场工业废水处理率:70%中用保压塔皮肤补水
危险废弃物减量化:化掉渣子量较传统与现代生产技术削减60%